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油扩散泵的工作原理及特点

  油扩散泵中没有转动或压缩部件,这种泵的工作方式是将油加热至高温蒸发状态(约200℃),让油蒸气呈多级状向下定向高速喷出时不断撞击被抽的气体分子,并将部分动量传给这些气体分子,使其被迫向排气口方向运动,在压缩作用下被排出泵体。同时,受到泵体冷却的油蒸气又会凝结起来返回泵的底部。
  油扩散泵的工作原理决定了它只能被用在1~10-8pa之间分子流状态的真空状态下,而不能直接与大气相连。因而,在使用油扩散泵之前需要采用各种形式的机械泵预抽真空至1pa左右。根据口径大小不同,油扩散泵的抽速可以从每秒几升到每秒上万升不等。
  油扩散泵的一个缺点是泵内油蒸气的回流会直接造成真空系统的污染。由于这个原因,在精密分析仪器和其他超高真空系统中一般不采用油扩散泵。另外,在对油污染要求不很高的应用场合中,也可以靠在油扩散泵与真空室之间增加冷阱的方法,使油蒸气大部分凝结在冷阱中而不扩散到真空室中去。但是这样做带来的问题之一是系统的流导和泵的抽速将有所降低。
 

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